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Propel 300mm GaN MOCVD System for 5G, Photonics and CMOS
全自动单晶圆集群系统可在 300mm 基板上生产 5G RF、光子学和先进 CMOS 器件。
科桥实验提供 Veeco Propel 300mm GaN MOCVD System for 5G, Photonics and CMOS 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。

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全自动单晶圆集群系统可在 300mm 基板上生产 5G RF、光子学和先进 CMOS 器件。
Propel™ 300mm 全自动单晶圆集群系统是唯一经过行业验证的 GaN MOCVD 工具,可在 300mm 基板上生产 5G RF、光子和先进 CMOS 器件。
Propel 300mm 系统采用单晶圆反应器平台,能够在 300mm 晶圆上生产一流的高质量外延膜,具有出色的均匀性、可重复性和良率。 Propel 300mm 系统可配置多达 3 个模块化集群室,并提供自动盒到盒处理,以实现最大的灵活性和生产力。
单晶圆反应器基于 Veeco 领先的 TurboDisc® 设计,包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技术,可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从 Veeco 单晶圆反应器 Propel 和 Propel HVM 系统转移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系统,以实现快速开发到生产。
台湾主要影响者任命 Veeco 为国际联盟成员,旨在实现半导体技术路线图
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