












NEXUS PVD-1 Physical Vapor Deposition System
气相沉积模块。该系统与各种晶圆尺寸兼容,可针对多种数据存储应用进行定制,例如氧化物和氮化物沉积以及磁性材料。它还为半导体、砷化镓和封装应用提供高性能、经济高效的工具。
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