NEXUS IBD-LDD 离子束沉积系统

Name: NEXUS IBD-LDD 离子束沉积 系统
Brand: Veeco
SKU: https://www.veeco.com/products/nexus-ibd-ldd-ion-beam-deposition-system/
Availability: InStock

NEXUS IBD-LDD Ion Beam Deposition System

25 年在离子束产品领域建立的领先地位造就了当今无缺陷的 EUV 掩模基板

品牌: Veeco产地: 美国价格: 面议服务区域: 全国

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产品信息

25 年在离子束产品领域建立的领先地位造就了当今无缺陷的 EUV 掩模基板

光掩模制造需要最高水平的颗粒控制，同时沉积复杂的多层薄膜结构。 Veeco 的 Nexus IBD-LDD 离子束沉积系统解决了这一挑战。自 20 世纪 90 年代以来，Veeco 已成功服务于光掩模市场，多年的学习造就了当今最先进的系统。 IBD-LDD 系统非常适合当今 EUV 掩模基板上的钼 (Mo) 和硅 (Si) 多层沉积和钌 (Ru) 覆盖层沉积，以及需要低缺陷水平和先进薄膜的其他掩模应用。

经过生产验证的平台最低的缺陷密度优异的均匀性和重复性高反射率在同一腔室中沉积多种材料可集成到其他工艺模块中，形成集群工具

经过生产验证的平台

最低的缺陷密度

优异的均匀性和重复性

高反射率

在同一室中沉积多种材料

可以集成到其他流程模块中成为集群工具

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