NEXUS DLC-X Diamond-Like Carbon System
超硬、耐腐蚀 TFMH 镀膜技术
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超硬、耐腐蚀 TFMH 镀膜技术
脉冲过滤阴极电弧具有出色的均匀性、重复性和薄膜硬度
长抛程、低压 PVD 可提供致密、无针孔的硅晶种层
能够进行反应性 PVD 工艺
可调谐低能量 NEXUS 420 离子束蚀刻源可在 75 伏至 300 伏的离子束能量下稳定运行
倾斜椭圆仪有利于蚀刻和沉积终点控制
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