Lumina As/P MOCVD Systems for Photonics Applications
凭借 20 多年的大批量 MOCVD 经验，实现基于 As/P 的光子器件 Lumina® 系统基于 Veeco 行业领先的 MOCVD TurboDisc® 技术，该技术在长期运行中具有出色的均匀性和低缺陷率，可实现卓越的良率和灵活性。此外，Veeco 的专有技术可实现均匀的热控制，从而实现出色的厚度和成分均匀性。该系统提供无缝的晶圆尺寸转换，能够在直径达 8 英寸的晶圆上沉积高质量的 As/P 外延层。 Lumina 系统允许用户定制他们的系统以获得最大价值。
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凭借 20 多年的大批量 MOCVD 经验，实现基于 As/P 的光子器件 Lumina® 系统基于 Veeco 行业领先的 MOCVD TurboDisc® 技术，该技术在长期运行中具有出色的均匀性和低缺陷率，可实现卓越的良率和灵活性。此外，Veeco 的专有技术可实现均匀的热控制，从而实现出色的厚度和成分均匀性。该系统提供无缝的晶圆尺寸转换，能够在直径达 8 英寸的晶圆上沉积高质量的 As/P 外延层。 Lumina 系统允许用户定制他们的系统以获得最大价值。
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Veeco 推出 MOCVD 系统套件以实现高性能光子器件
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