LSA 201 Ambient Control 激光尖峰退火 系统

产品信息

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系统与 LSA101 具有相同的架构，但包括专利微室设计，可在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。微室的独特之处在于它不需要使用真空负载锁。该系统能够运行任何惰性气体的混合物，包括合成气体。 LSA201 的目标应用包括高 k 金属栅极结激活和硅化镍形成等。 LSA201 非常适合 20nm 以下工艺，例如环境控制至关重要的界面工程和材料改性。

主要特点

长波长、布鲁斯特角、p 偏振光可实现最佳的芯片内均匀性

闭环温度反馈控制以保持严格的温度控制

独立于布局的设计非常适合处理平面和 FinFET 器件

具有灵活停留时间的局部应力场可实现低应力处理并减少晶圆破损

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