LSA 101 Laser Spike Anneal System
Veeco 的 LSA101 系统安装在全球领先的 IDM 和代工厂中，是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的首选技术。 LSA 101 的扫描技术基于 Veeco 的可定制 Unity Platform™ 构建，在均匀性和低压力处理方面具有根本优势。 LSA101 系统支持关键的毫秒退火应用，使客户能够保持精确、有针对性的高处理温度，从而提高器件性能、降低泄漏并提高产量。
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Veeco 的 LSA101 系统安装在全球领先的 IDM 和代工厂中，是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的首选技术。 LSA 101 的扫描技术基于 Veeco 的可定制 Unity Platform™ 构建，在均匀性和低压力处理方面具有根本优势。 LSA101 系统支持关键的毫秒退火应用，使客户能够保持精确、有针对性的高处理温度，从而提高器件性能、降低泄漏并提高产量。
标准 LSA101 配置利用单个窄激光束将晶圆表面从衬底温度加热到峰值退火温度。为了应对日益复杂的工艺需求，Veeco 开发了双光束技术，扩大了非熔化激光退火的应用空间，并具有第二束低功率激光束以实现低温加工。当使用双光束时，会合并第二束更宽的激光束来预热晶圆。双光束系统可灵活调节温度和应力分布。
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