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GENxcel R&D MBE System
直径达 4 英寸的基板上的高质量外延层
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直径达 4 英寸的基板上的高质量外延层
独特的单框架架构提高了易用性，提供方便的源访问并增强了可维护性
高效的一体式设计将手动系统与板载电子设备相结合，与其他 MBE 系统相比，可节省 40% 的实验室空间
适用于各种材料（包括砷化镓、氮化物和氧化物）的前沿研究
Molly® 软件集成了简单的配方编写、自动生长控制和始终在线的数据记录
可选 Nova™ 超高温基材加热器可在 1850° 下实现经过验证的性能
直接可扩展至 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统
Veeco 荣获化合物半导体行业创新奖
Veeco 收到新 GENxcel MBE 系统的第一笔订单
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