GEN2000 MBE System
卓越的吞吐量、更长的运行时间、更小的占地面积和集群工具晶圆处理
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卓越的吞吐量、更长的运行时间、更小的占地面积和集群工具晶圆处理
提供业界最低的每片晶圆成本
卓越的设计使占地面积比同类 MBE 系统小 40% 至 60%
模块化架构允许最多两个生长模块，提高吞吐量或允许处理不兼容的材料
易于维护，最大限度地延长正常运行时间
可选隔板安装优化洁净室空间
整合了业界最具创新性、最可靠的系统硬件、资源和组件
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