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GEN20 MBE System
超灵活的工具，其设计可配置为 III-V 族和新兴材料
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超灵活的工具，其设计可配置为 III-V 族和新兴材料
材料研究和预生产环境的理想选择
源与基板垂直方向，具有 12 个 MBE 源端口以及添加电子束功能的选项
手动或自动晶圆传输选项
可配置的低温板、机械手、百叶窗和现场监控设备
模块化设计允许最多两个增长模块
AIM Infrarot-Module GmbH 购买第三个 Veeco MBE 系统以推动红外探测器的进一步发展
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