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GEN10 MBE System
自动晶圆传输可实现高系统利用率
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自动晶圆传输可实现高系统利用率
自动晶圆传输可实现高系统利用率，允许多名研究人员同时使用该系统并执行无人值守的生长和校准
额外增长模块的经济升级路径，最多三个
集群架构中可配置的特定材料生长模块可在一个真空系统中生长不兼容的材料
通往大型生产 MBE 系统的直接工艺路径
Veeco 在全球安装了 100 个自动化 MBE 系统，实现里程碑
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