Fiji – Plasma Enhanced ALD for R&D
先进研究的先进能力
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先进研究的先进能力
我们的 Fiji® 系列是模块化、高真空热 ALD 系统，可使用灵活的架构以及前体和等离子体气体的多种配置来适应各种沉积模式。 Fiji G2 是下一代 ALD 系统，能够执行热和等离子体增强沉积。
我们应用先进的计算流体动力学分析来优化 Fiji® 反应器、加热器和捕集器的几何形状。该系统直观的界面可以根据需要轻松监控和更改配方和流程。
斐济的先进功能包括：
专有的室式涡轮泵系统
改进的等离子体设计
符合人体工程学的操作界面
原位椭偏仪
原位石英晶体微天平
综合臭氧
手套箱接口
Fiji® 配备多达 6 个前体管线，可容纳固体、液体或气体前体，以及 6 个等离子气体管线，在紧凑且经济的占地面积中提供显着的实验灵活性。
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