产品信息

东邦规格 3100

精确的膜厚测量

TohoSpec 3100 是一种低成本薄膜厚度测量系统，采用建立在易于使用的桌面平台上的现代小光斑光谱反射仪。该系统融合了从市场领导者 Nanometrics 获得的核心技术，专为各种研发应用而设计。可靠的固态线性二极管阵列可快速、精确地测量单层薄膜（例如氧化物、氮化物和光刻胶）以及厚度范围为 100Å 至 30μm 的最多 3 层薄膜叠层的顶层。这款坚固而精确的系统具有出色的价值，配备多达 15 种标准薄膜厚度测量算法，在世界各地的实验室中使用，以紧凑的设计提供精确的薄膜厚度测量。

应用领域

TohoSpec 3100 is designed to provide accurate film thickness measurements within a vast array of applications.

保证 3 层测量，在某些情况下超过 3 层，具体取决于参数。测量具有一定反射率的最光滑或半光滑表面

太阳的

平板显示器/液晶显示器

有机发光二极管

光掩模

功率器件

HDD磁头

规格

表现

胶片叠层/胶片数量

最多 3 层

波长范围

380 -800 nm（标准） 380 -850 nm（厚膜）

重复性

薄膜类型 / n 和 k 值

获得

测量时间

0.1 至 25 秒/站点 (3100) 0.01 至 2.5 秒/站点 (3100 T)

数据管理

统计数据分析、数据导出（ASCII）

Hardware Configuration

晶圆尺寸

载物台可处理 3、4、5、6、8 英寸晶圆

Head Unit

反射计线性阵列