产品信息

FP系列

大面积接触轮廓测量

这是定制的 Toho 定制分析仪，为需要准确性、性能和价值的大规模生产和研究设施提供全面的测量功能。 Toho Profilers 采用 KLA-Tencor 专有的低力测量头，可提供低触针力并实现高精度微米到纳米范围的测量，以分析任何大于 300mm 的方形 FPD 基板上的表面平整度、表面粗糙度、波纹度、峰谷、曲率、纹理、应力和特征尺寸。

应用领域

Toho 轮廓仪旨在在面向 FPD 大表面积基板的应用中提供精确的轮廓测量。

薄膜高度

厚膜高度

光刻胶/软膜

表面粗糙度或波纹度的表征

表面曲率和形状

薄膜上的二维应力

峰谷维度分析

3D成像

平整度

缺陷分析

规格

G4 或更小的样本量

表现

触控笔力分辨率

0.05毫克

扫描重复性

10Å（舞台中心）

X 和 Y 重复性

±2微米

模式识别

手动（自动/选项）

放大镜

185 x 0 – 360 度

噪音隔离器

装备（被动或主动）