产品信息

4D - 4 点探头

行业标准薄层电阻率

四点探针系统，用于测量多种材料的薄层电阻率，包括 IV 族半导体、金属和化合物半导体，以及平板显示器和硬盘中的新材料。四维四点探头使用两个电流供电探头和两个电压传感探头，可对各种材料提供高精度且可重复的薄层电阻率和厚度测量。该系统具有用户友好的“一键式”操作和自动校准功能。能够在 90 秒内测量 50 个位置，测量范围从 1mΩ/sq 到 800kΩ/sq，最高可达 8E11Ω/sq。

应用领域

P/N 型式测试

硅基板

外延层

离子注入剂量和均匀性

多晶硅电阻率和厚度

金属沉积监测仪

硅化物过程监控器

离子注入扩散

多晶闸门过程监控器

金属

多晶硅、非晶硅

规格

适用晶圆尺寸：50、75、100、125、200 毫米

测试直径：距晶圆边缘最大 3mm

测量范围：1mΩ/sq.至 800kΩ/平方。或 8E9 Ω/平方。

测量单位：Ω/sq.、Ω-cm、V/I、μ [T]、Å[T]

测量重复性：<0.2%（典型值）

快速检查：1、5、9 个站点 | 5、6、9、10、13 站点 ASTM/SEMI | X 模式或自定义站点

笛卡尔地图：任意位点间隔≥0.1 mm，最多 6000 个位点

电子精度：<0.1%（精密电阻）

电流分辨率：16 位 A/D

测量顺应电压：125V