产品信息

FPM系列

Zygo 3D 大面积光学轮廓仪

自 2009 年从 Zygo Corporation 收购该产品线以来，显示器制造商纷纷向 Toho 寻求卓越的 3D 特征分析系统。 Toho 的 Zygo-FPM 工具是非接触式计量系统，专为平板显示器生产应用而设计，具有广泛的功能和价值。 Toho 光学轮廓仪是白光干涉仪系统，可提供快速、非接触式、高精度的表面特征 3D 计量。 FPM 是专门为检查需要高分辨率分析的蜂窝平板或大型显示器而设计的系列。 FPM 系列 3D 光学表面轮廓仪可轻松测量各种表面，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯表面。

应用领域

Toho FPM 系列工具旨在在各种应用中提供精确的测量。

FPM 系统及其测量数据用于提高产量，特别是在彩色滤光片、TFT 工艺线和 ODF（一滴填充）工艺中。使用我们专有的 OneShotTM 系统可以一次性测量 Photo Spacer 和 VA 结构、黑矩阵和滤色片的高度和宽度、面积数据。 SureShotTM 提供半色调工艺特征测量，例如薄膜厚度和关键尺寸。 DropShot TM 还提供液滴体积和形状。

规格

测量性能

节拍时间

2.5 至 5 秒 FAAM；平均 17 秒玻璃准备时间

正常运行时间

≥95%

吞吐量

40K 玻璃/月（4 头）

高度再现

≤20-30纳米（3-σ）

横向 CD/OL 复制

≤ 0.2 微米 (3-σ @ 20x)

头对头相关性

关键技术

• 高速SWLI

• 透明薄膜的表面轮廓分析

• 定制 20x 或 50x FPM 物镜

• 大型舞台机电一体化

• 微米绝对定位

• 具有纳米级稳定性和微米级绝对定位的高速运动

垂直计量

• 大型 FPM 平台的测量精度

• 再现≤ 20-30 nm，App。相关，(3σ @20x) 标准

• 适用于 20 纳米以下应用的 SuperOneShot