JETx 自动喷墨打印机

产品信息

SUSS 适用于电子制造大规模生产的最先进喷墨解决方案：JETx 提供数字化、精确和非接触式材料沉积，支持最大 300 毫米的晶圆和最大 24" × 30" 的面板。

释放生产效率

高可靠性、高生产率、低拥有成本：JETx 将先进技术、灵活性和自动化处理与最大程度的材料节省结合在一起。卓越的稳定性和极高的精度使其成为所有市场大批量生产的理想选择——从半导体、电子显示器、生物医学设备到化学加工。

完全集成的生产解决方案几乎可以处理所有流程和材料。数字喷墨技术可按需提供复杂的图案、个性化布局和功能层，从而实现选择性涂层、形貌精度和数字定制，从而实现一流的半导体生产。

亚微米级打印精度和实时视觉对准：用于视觉优化打印的集成 DI300 计量可检测基准并补偿翘曲、变形或基材移位，确保每个基材上的图案精确对准，即使在高吞吐量的情况下也是如此。

JETx 喷墨技术作为一种增材技术提供可持续制造，仅在需要的地方打印所需的确切材料。这消除了浪费和去除加工步骤，与传统减材技术相比，可节省高达 90% 的材料。

完全集成的生产解决方案可实现连续生产：基板处理的智能自动化、集成的过程检查和控制以及简单的操作和维护，即使在重新填充期间也能实现不间断运行。

JETx 自动喷墨打印机的主要特点

下一代喷墨打印

JETx 提供无与伦比的技术能力和出色的灵活性：多材料打印、从光致抗蚀剂到专用涂层的兼容性、精确的层控制以及轻松的可扩展性，使先进的多层工艺具有卓越的质量和生产率。

轻松扩展和优化生产力：使用多个打印头和单独的墨水系统（包括溶剂型、水性、热熔性和紫外线固化墨水）同时打印多达四种材料 - 非常适合先进的多层工艺和定制生产。

JETx 可处理多种材料，支持光致抗蚀剂、聚酰亚胺、涂层、抗蚀剂等，从而实现先进半导体和相邻市场（包括电力电子、传感器、MEMS、显示器和生物医学应用）的功能性喷墨开发。

从超精细结构到更厚的功能涂层，JETx 可提供从 100 nm 到 60 µm 以上的精确涂层，为各种功能材料提供最大的多功能性。