产品信息

ECD8 将灵活性、安全性和易用性集于一个紧凑的系统中，适用于最大 200 毫米的基材。该系统可作为具有可定制配置的涂布机或显影机，是研发和小规模生产的理想选择。

轻松控制

体验 ECD8 的智能设计：从轻松的晶圆居中到完整的流程可视性，每个细节都经过量身定制，以简化工作流程、节省空间并确保操作员在日常操作中的安全。

通过简单的旋钮和滑动离合器即可快速准确地对晶圆进行居中。由于对中装置普遍覆盖所有圆形晶圆尺寸，因此无需进行复杂的调整即可确保一致的对准。

安装方便，保留洁净室空间：由于采用集成媒体柜，所有所需媒体都直接放置在系统内部。无需额外的外部机柜，操作员即可受益于整洁的一体化设置。

360°透明罩让整个过程随时清晰可见。操作员可以实时监控每一步，从而在不中断工作流程的情况下增强信心和控制力。

ECD8 标准配备了最高的安全功能。这可确保为操作员和基材提供最大程度的保护，让您每次运行都安心无忧。

直观的、基于符号的界面使操作变得简单，即使对于新用户也是如此。通过简单的导航和清晰的过程控制，该系统最大限度地减少了培训工作并最大限度地提高了生产力。

ECD8 半自动涂布机或显影机的主要特点

一致、高质量的结果

ECD8 为各种过程提供精确控制。高旋转速度、强大的加速、可编程配方以及对高达 4,000 cp 抗蚀剂的支持，确保您获得值得信赖的可重复结果。

旋转速度高达 8,000 rpm，可实现均匀的涂层。 ECD8 的加速度高达 10,000 rpm/s，可提供快速、受控的涂层动力学，非常适合各种应用。

处理较宽的粘度范围：ECD8 可容纳多达两条经过验证的分配管线和泵配置，适用于材料粘度从 <1 cps 到 4000 cps 的范围。

节省时间、简化操作并确保可重复性：在一个系统中存储多达 200 个配方，每个配方有 40 个步骤，以实现可重复、高效的工作流程。