产品信息

在具有挑战性的地形上进行图案化：AS8 手动喷涂机是研发和小批量生产最大 200 毫米基材和最大边长 6 英寸方形基材的理想解决方案。紧凑的系统将智能可用性与 SUSS 涂层技术相结合，可实现均匀、可重复的涂层。

一致、可靠的涂层 – 在任何地形上

AS8 甚至可以在最苛刻的 3D 结构上提供均匀、保形的抗蚀剂沉积。无缝集成可编程喷涂和清洁参数，简化复杂的涂层并提高产量 - 所有这一切都在专为研发和小批量制造卓越而设计的紧凑占地面积中。

在最具挑战性的表面结构上可靠地形成图案：AS8 的精密喷涂技术克服了极端的地形，并能够在复杂的基材上形成均匀的层。

提供具有精确边缘覆盖的保形涂层，避免沟槽中的抗蚀剂积聚，确保整个基材上的干净线条和一致的微结构保护。

受益于 SUSS 独特喷雾设计提供的工艺稳定性和可重复性，旨在实现批次间一致、可靠的结果 - 非常适合要求苛刻的研究和试生产。

AS8 手动喷涂机的主要特点

完全可配置的涂层性能

AS8 专为基板级别的灵活性和精度而设计，特别适合研究和试生产。先进的抗蚀剂供应系统和可编程配方可实现跨所有常见晶圆和基板格式的定制工艺控制以及无缝的未来扩展。

立即适应 6 英寸以下圆形和方形板材不断变化的要求：为 Ø150 毫米和 Ø200 毫米基材选择双喷嘴模式，或为 Ø3 英寸、Ø100 毫米、Ø150 毫米和 Ø200 毫米基材选择单喷嘴模式。

受益于高达 45 毫米的精确 z 轴调整范围和 67.5 毫米至 107.5 毫米的喷嘴调整范围，以实现定制的工艺几何形状。 AS8 的喷涂轴速度高达 500 mm/s，加速度高达 9 m/s²，可提供精确的涂层和再现性。双喷嘴和独立的溶剂喷嘴可实现精确、灵活的清洁和快速的配方执行。

为了实现最佳抗蚀剂分布和无缝加工，AS8 配备了优化的卡盘和碗，最大转速为 1,000 rpm。加热卡盘选件和先进的防溅环设计可最大限度地减少污染并支持平稳操作。