产品信息

超声波镀膜系统

高形貌基材的一致性更高，化学废物更少

描述

C&D 很自豪地将超声波喷涂引入到我们的 P9000 系列产品中。我们的超声波涂层系统既可以独立提供，也可以作为我们的集群工具之一的嵌入式模块提供，能够更均匀地涂覆具有复杂结构的基材，这些复杂结构可能具有高水平的不同形貌。

使用超声波信号发生器，我们的涂层系统将使用根据光致抗蚀剂的特定物理特性进行精细校准的参数来雾化所需的化学物质。压缩氮气不用作溶液的推进剂，而仅用作成型喷雾，以引导通过超声波频率雾化的光致抗蚀剂。这使得复杂几何形状和形貌基材的涂层更加均匀，并且与传统化学涂层方法相比，需要的光致抗蚀剂用量大大减少。