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Piezoelectric Wafer Processing
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产品信息 压电晶片和热释电晶片处理系统 热板 ESD 防护内置于烘烤模块中。利用特殊的冷却方法来快速、精确地控制这些压电晶片所需的严格加工限制所需的温度。 该技术可以是独立的手动烘焙系统,也可以扩展到涂层、烘焙,并在 C&D 的 P9000 集群工具中进行开发。
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