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P8000 Advanced Linear Track System
C&D P9000 光刻胶涂布机和显影剂集群系统设计用于处理 50mm 至 300mm 晶圆。 P9000 可配备多种不同的模块，包括多个光刻胶涂布机或显影机、蒸气底漆模块、热板和冷却板。还提供专用工艺模块，包括使用光学定心和边缘珠去除。 C&D 的 P9000 集群系统专为在较小的占地面积内实现灵活性和高吞吐量而设计。 P9000 可配置为涂布机、显影机、蒸气底涂机、烘烤机、冷却机或任何变体，并且可以处理各种光刻胶旋涂和光敏聚合物应用。
科桥实验提供 C&D Semiconductor P8000 Advanced Linear Track System 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
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P8000 高级直线导轨系统
C&D P9000 光刻胶涂布机和显影剂集群系统设计用于处理 50mm 至 300mm 晶圆。 P9000 可配备多种不同的模块，包括多个光刻胶涂布机或显影机、蒸气底漆模块、热板和冷却板。还提供专用工艺模块，包括使用光学定心和边缘珠去除。 C&D 的 P9000 集群系统专为在较小的占地面积内实现灵活性和高吞吐量而设计。 P9000 可配置为涂布机、显影机、蒸气底涂机、烘烤机、冷却机或任何变体，并且可以处理各种光刻胶旋涂和光敏聚合物应用。
C&D 专注于定制光刻胶涂布机，可满足特定客户的要求，以提高效率并降低成本。这意味着我们可以减少集群系统的占地面积，以适应晶圆厂内最关键的尺寸。另一方面，可以使用扩展槽来定制工具，以便将来实施附加模块或由于需求增加或项目开发变化而增加基板尺寸。
建发正在创造许多新的创新，它们都是建发 P9000 集群系统功能中突出的功能。特殊模块，例如超声波喷涂、C&D 革命性的 Synchrospin 涂层系统，以及传统模块的许多光学变体，例如光学边缘珠去除 (OEBR) 和光学定心。
P8000 选项
涂布机
开发商
热板 (HPO)
冷却板
蒸汽总理
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