光学边缘珠曝光

产品信息

光学边缘珠曝光

紫外光学边珠去除系统可实现精确、无化学品操作

描述

光学边缘珠曝光“OEBE”系统引入了传统化学驱动边缘珠去除的替代方法，是 P9000 涂层和显影系统中的一个独立模块，能够快速有效地曝光平面和凹口晶圆。曝光系统利用高强度 LED 光源产生 365nm 波长的稳定光束，或使用汞弧灯满足其他紫外线波长要求。

OEBE 系统包含在 P9000 的自身模块内，配备独立卡盘和电动光源，可对各种平坦边缘以及选定区域进行精确曝光。

光学边缘珠曝光模块本身还配备了额外的辅助功能，例如晶圆居中、凹口/平面查找以及可选的 OCR 读取。

C&D 的创新 OEBE 具有高重复性、消除混乱的化学溶剂以及通过 C&D smartPro 配方创建实现更大的 EBR 定制能力，一定会改进您的下一个工艺流程。