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合金/退火系统

P7000 晶圆合金/退火系统

P7000 晶圆合金/退火系统是一款独特的加热板，具有大气控制功能，专为满足金属欧姆晶圆合金化的需求而定制。该系统主要设计用于加工50mm–200mm GaAs 和InP 晶圆。它具有工程简单、易于使用的特点，是昂贵的快速热退火 (RTA) 的经济高效替代方案，吞吐量大约是其两倍。特殊合金块中的处理温度可在高达 500 摄氏度的温度下处理晶圆。

每个 P7000 合金系统都配有 C&D SmartPro 软件，使配方创建变得简单轻松。附带的组件练习模式允许练习所有系统功能和传感器，以便于维护和故障排除。

合金模块也可作为 P9000 集群系统上的模块使用