完全集成的 SmartNIL® UV-NIL 系统

EVG 的 HERCULES® NIL 产品系列

HERCULES® NIL 完全集成的 SmartNIL® UV-NIL 系统，最大可达 200 mm

用于试验线和大批量生产的集成平台，SmartNIL® 尺寸可达 200 毫米

HERCULES NIL 200mm 是大批量制造中纳米压印光刻的行业标准。 HERCULES NIL 基于模块化平台，将 EVG 专有的 SmartNIL 压印技术与清洁、抗蚀剂涂层和烘烤预处理步骤相结合。该配置是可调的和调整的，以低成本提供最佳吞吐量和较小的占地面积。 Hercules NIL 配备了最先进的处理系统，可在 200mm 平台上实现最高效的处理。

为了优化工艺链，多用途软印模的制造（这是大批量生产的基石）包含在 HERCULES NIL 中，无需额外的压印印模制造设备。该系统支持各种设备和应用的生产，包括用于增强/虚拟现实 (AR/VR) 耳机的光学设备、3D 传感器、生物医学设备、纳米光子学、等离子体激元和超表面。通过为大批量制造提供完整的 NIL 解决方案，HERCULES NIL 巩固了 EVG 在全区域 NIL 设备解决方案方面的领导地位。

特征

经过批量验证的压印技术具有卓越的复制保真度

结合预处理（清洁/涂层/烘烤/冷却）和 SmartNIL®

多达 4 个预处理模块