自动化 SmartNIL® UV 纳米压印光刻系统

全视场 UV 纳米压印光刻系统，最大可达 200 毫米，采用柔性印模，采用 EVG 专有的 SmartNIL® 技术

EVG7200 系统利用 EVG 的创新 SmartNIL 技术，能够制造具有高图案保真度和低残留层的微米和纳米结构。可调强度的曝光基于 LED 灯。该系统能够快速固化多种紫外线固化材料，从而提高产量。通过力测量支持的受控且平稳的脱模获得高产量。采用 SmartNIL 技术的 EVG7200 系统能够以无与伦比的吞吐量和较低的拥有成本在大面积上打印纳米结构，非常适合下一代微流体和光子器件的批量生产，例如衍射光学元件 (DOE)。

*分辨率取决于流程和模板。

特征

经过批量验证的压印技术具有卓越的复制保真度

专有的 SmartNIL® 技术与多用途聚合物印模技术

集成压印、UV 固化脱模和工作印章制作

提供手动或自动配置

自动盒到盒处理加上半自动研发模式