Name: EVG®40 NT2
Brand: EV Group
SKU: https://www.evgroup.com/products/metrology/evgr40-nt2
Availability: InStock

自动测量系统

用于 3D 和异构集成的高速高精度计量

EVG®40 NT2 自动计量系统为晶圆到晶圆 (W2W)、芯片到芯片 (D2W) 和芯片到芯片 (D2D) 接合以及无掩模光刻应用提供重叠和关键尺寸 (CD) 测量。 EVG40 NT2 专为大批量生产而设计，具有用于实时工艺校正和优化的反馈回路，可帮助设备制造商、铸造厂和封装厂加速推出新的 3D/异构集成产品，并提高产量并避免报废高价值晶圆。