Name: EVG®40NT
Brand: EV Group
SKU: https://www.evgroup.com/products/metrology/evg40-nt
Availability: InStock

自动测量系统

用于键合和光刻的多功能、高精度计量

EVG40 NT（独立工具）和 AVM（HVM 集成模块）能够测量光刻相关参数，例如关键尺寸以及键合对准精度。由于系统测量精度高，因此可以验证是否符合严格的工艺规范并立即优化集成工艺参数。凭借其多样化的测量方法，EVG40 NT 可同时适应大量制造工艺，例如纳米压印光刻或晶圆间键合。作为一个应用示例，EVG40 NT 完善了 EVG 高精度对准晶圆键合产品系列，作为可靠验证 EVG GEMINI FB 自动熔合键合系统 100 nm 键合覆盖精度的记录工具。