自动化临时粘合系统

刚性载体上基板的全自动临时晶圆键合

全自动临时键合系统在一个自动化工具内实现了整个临时键合过程——从临时粘合剂应用、烘烤、对准以及器件晶圆与载体晶圆的键合开始。与所有 EVG 的全自动工具一样，设备布局是模块化的，这意味着它可以根据具体工艺进行吞吐量优化。

由于 EVG 的开放平台，可以使用不同类型的临时粘合粘合剂，例如旋涂热塑性塑料、热固性材料或胶带。

特征

开放式粘合平台

各种载体（硅、玻璃、蓝宝石等……）

适用于不同基板尺寸的桥接工具功能

提供多种装载端口选项和组合

配方控制系统