设备资源
正在整理可询价设备
同步核对品牌、型号、图片和应用方向，保持产品浏览与询价路径清晰。
实验室仪器半导体设备型号检索
设备详情
准备主图、规格、应用信息和相关设备入口，方便继续核对型号。
EVG®805
EVG805 是一种用于对临时键合和加工的晶圆堆叠进行脱键合的系统，该晶圆堆叠由器件晶圆、载体晶圆和中间临时键合粘合剂组成。该工具支持热脱粘或机械脱粘。薄晶圆可以卸载到单个基板载体上，以便在工具之间安全可靠地运输。
科桥实验提供 EV Group EVG®805 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
微信扫码咨询
扫码添加技术顾问，发送产品型号、设备图片或应用需求。
脱粘系统
薄晶圆剥离
EVG805 是一种用于对临时键合和加工的晶圆堆叠进行脱键合的系统，该晶圆堆叠由器件晶圆、载体晶圆和中间临时键合粘合剂组成。该工具支持热脱粘或机械脱粘。薄晶圆可以卸载到单个基板载体上，以便在工具之间安全可靠地运输。
开放式粘合平台
脱粘选项： 热滑脱脱粘 剥离脱粘 机械脱粘
热滑脱粘
剥离脱粘
机械脱粘
配方控制系统
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。
