EVG®805

EVG®805

EVG805 是一种用于对临时键合和加工的晶圆堆叠进行脱键合的系统，该晶圆堆叠由器件晶圆、载体晶圆和中间临时键合粘合剂组成。该工具支持热脱粘或机械脱粘。薄晶圆可以卸载到单个基板载体上，以便在工具之间安全可靠地运输。

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