Name: 双子座®
Brand: EV Group
SKU: https://www.evgroup.com/products/bonding/permanent-bonding-systems/gemini
Availability: InStock

自动化生产晶圆键合系统

用于对齐晶圆键合的集成模块化大批量制造系统

GEMINI 是最先进的全自动生产晶圆键合系统，在模块化设计中集成了晶圆间对准和键合工艺。该平台特别适合尺寸高达 300 毫米的下一代 MEMS（微机电系统）制造，在晶圆级真空或超压封装以及高级系统集成方面提供卓越的性能。 GEMINI 设备平台基于大批量制造 (HVM) 晶圆键合的全球行业标准，包括多达四个键合室，可确保出色的键合质量和良率。该设备提供充分的灵活性并支持多种工艺，包括金属、阳极、玻璃熔块、熔合和粘合。