量子系列约瑟夫森结制造平台

产品信息

Angstrom Engineering® 开发了一系列平台，为量子计算硬件先驱者提供了一种在高度可重复和自动化的框架中可靠、自信地创建超导电路及其支持硬件的方法。

下一代

约瑟夫森枢纽站

超导溅射

铟凸块

Quantum Series® 物理气相沉积平台涵盖了量子计算研究和商业开发中至关重要的各种制造工艺。

Quantum Series® 系统可以专注于一种制造工艺，也可以包括多种现场制造工艺。我们定期制造和提供 Quantum Series®

特定于铝基约瑟夫森结、溅射超导材料（如铌和钽）的系统，以及专用于制造铟凸点键合的系统。

工艺具体优势

概述

Quantum Series® 物理气相沉积平台涵盖了量子计算研究和商业开发中至关重要的各种制造工艺。 Quantum Series® 系统可以专注于一种制造工艺，也可以包括多种现场制造工艺。我们定期制造和提供专门针对铝基约瑟夫森结、铌和钽等溅射超导材料的 Quantum Series® 系统，以及专用于制造铟凸点键合的系统。

生长均匀的隧道连接点

Quantum Series® 约瑟夫森结制造平台采用了许多功能来确保纯净、均匀的氧化物层的可重复生长。

我们可以进行静态氧化、动态氧化以及等离子体和紫外线/臭氧氧化。

我们采用强大的气体净化系统、实时氧化物生长监控和直接光学晶圆温度监控，从而实现可定制、可重复且可靠的氧化物。

精确的阴影蒸发

Angstrom 改进了我们的设计，打造出极其可重复、多功能且坚固的夹具。

可以进行工艺改进，包括基板加热、冷却和偏置。