Amod物理气相沉积平台

产品信息

不太大。不算太小。正好。

该 PVD 平台开始允许更大的腔室投射距离，并且能够适应更多的工艺增强。

您的研究目标、生产需求和/或应用最终目标将告诉您如何装备您的产品

Amod PVD 平台。

让我们共同努力设计完全适合您要求的系统。

系统构建选项

系统型号特点

溅射

射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和反应式。

可提供圆形、线性和圆柱形阴极。

热蒸发

使用各种舟皿、灯丝和坩埚加热器。

自动调整以实现精确的速率控制。

电子束蒸发

提供多种电源和电源选项

带配方存储的可编程扫描控制器

扭矩感应坩埚分度器可检测口袋堵塞情况。

可选择腔室中的多个电子束源。