产品信息

生产吞吐量，大进步。

Box Coater 是一种灵活、兼容洁净室的涂层平台，能够进行小批量到大批量生产，能够对膜厚不均匀性、材料产量和吞吐量进行主动建模和校正。

您的研究目标、生产需求和/或应用最终目标将决定如何装备您的盒式涂布机。

它非常适合各种应用，包括金属化、光学镀膜、传感和铟凸块键合制造。

让我们共同努力设计完全适合您要求的系统。

100 mm - 1200 mm 基材

多种 PVD 工艺

可选择配备以实现超高真空 (UHV)

系统构建选项

系统型号特点

溅射

射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和反应式。

可提供圆形、线性和圆柱形阴极。

热蒸发

使用各种舟皿、灯丝和坩埚加热器。

自动调整以实现精确的速率控制。

电子束蒸发

提供多种电源和电源选项