Covap
COVAP PVD 平台为许多工艺应用提供了紧凑、经济且坚固的解决方案。专为需要安全可靠的工具的实验室而设计，该工具能够在紧凑的占地面积内生产可重复的高质量薄膜。
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COVAP PVD 平台为许多工艺应用提供了紧凑、经济且坚固的解决方案。专为需要安全可靠的工具的实验室而设计，该工具能够在紧凑的占地面积内生产可重复的高质量薄膜。
沉积源被隔离以减少热效应和交叉污染。 Covap PVD 平台配备了一整套可拆卸的室屏蔽装置，以确保室可以轻松清洁和维护。
当腔室打开时，电源、平台电源和气动压力被切断，确保最高级别的安全性。它可以集成到手套箱中或在独立配置中选择。
为什么选择 COVAP 系统？
概述
长方形蛤壳
室具有良好的可达性。
材料和基材
即使在手套箱中也可以轻松装载。
提供无障碍通道，以便移除屏蔽、清洁以及为下一次运行准备系统。
紧凑型 600 毫米 x
1000 毫米系统占地面积。
提供高真空
通过涡轮分子泵。
QCM 传感器仔细
隔离以确保不会受到相邻源材料的干扰。
Full system training included.
特点
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。
