EvoVac PVD ​​平台

产品信息

一切皆有可能

EvoVac PVD 平台可以满足您的任何需求。它有一个大室，可以配备您需要的任何源或工艺增强功能。

EvoVac 物理气相沉积平台是我们最可定制的单室平台，因此它可以配备用于特定应用的工具，或者可以成为适合实验室中各种独特用户的多功能多源沉积主力。

让我们共同努力设计完全适合您要求的系统。

系统构建选项

系统型号特点

溅射

射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和反应式。

可提供圆形、线性和圆柱形阴极。

热蒸发

使用各种舟皿、灯丝和坩埚加热器。

自动调整以实现精确的速率控制。

电子束蒸发

提供多种电源和电源选项

带配方存储的可编程扫描控制器

扭矩感应坩埚分度器可检测口袋堵塞情况。

可选择腔室中的多个电子束源。

等离子体和离子束