星云集群平台

产品信息

Angstrom 在自动化、工程精度、用户控制以及与您（我们的合作伙伴）的协作方面达到了顶峰。这些星云簇集成真空系统专为满足客户的工艺要求而设计。真空模块的数量和类型由客户选择，并为未来的扩展潜力提供空间。

专为需要安全可靠的工具的实验室而设计，该工具能够在紧凑的占地面积内生产可重复的高质量薄膜。

我们梦想与您一起确定将您的潜在创新变为现实的模块。

PVD、CVD、ALD、掩模和停放传输、带加热/冷却的平台、辅助清洁的源、可变角度沉积以及当前技术允许的所有其他技术。

构建选项

Nebula Cluster 集成真空系统包括一个连接所有设备的中央机器人中心，所有这些都由我们集成且易于使用的配方驱动软件控制。

概述

使用等离子体或离子束源清洁和制备基材

多种真空沉积模块可用于 PVD、CVD、ALD 和以应用为中心的模块，例如 Quantum 系列

基底和掩模存储盒可根据需要容纳 25 个或更多样品托盘

使用 SCARA 机器人的配电模块的尺寸可满足您的要求

手套箱环境可以集成到一个或多个模块中

基材尺寸/吞吐量

我们构建了适应标准半导体晶圆尺寸以及典型显示玻璃的模块，包括适用于第 2 代（360 毫米 x 465 毫米）及更大尺寸的模块。

吞吐量取决于流程持续时间和复杂性。然而，AERES 软件平台优化了层间转换，以减少总体处理时间。

野外星云团