IVS 280系统

IVS 280 系统为 100mm-200mm 晶圆提供叠层、CD 和 z 高度计量。它旨在满足功率、复合半导体和 MEMS 领域的挑战性要求。

产品概述

IVS 280 系统专为 100mm 至 200mm 晶圆的终极精度、工具诱导位移 (TIS) 和吞吐量而设计，平均无故障时间 (MTBF) > 2,000 小时。 IVS 280 系统提供与设计用于架空轨道搬运的系统相同的功能，并具有符合 SEMI® 标准的全部功能。

灵活性是化合物半导体工艺的关键，可适应各种晶圆尺寸、厚度和成分，包括针对 Si、SiC、石英、玻璃、GaAs、GaN 和 LiNO3 晶圆的多功能晶圆处理。

其强大的晶圆处理和导航系统在配方执行期间无需操作员协助。 IVS 280 系统无需更改硬件即可改变晶圆尺寸。配方和数据随着时间的推移保持稳定。该系统还支持从 IVS 200 和 IVS 220 等较旧的 IVS 平台传输配方。

IVS 系统所展示的高精度和可靠运行能力使该系统脱颖而出。

应用领域

临界尺寸

关于产品叠加

Z 高度

特色市场

专业

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