FAaST 系统是一个多功能、非接触式电气计量平台，可以选择将微观和宏观电晕开尔文技术与数字表面光电压 (SPV) 结合起来。它可以对各种介电材料进行高分辨率介电和界面测量，支持研发和大批量制造。

产品概述

非接触式 CV 计量的主要应用是监测 IC 制造过程中的介电特性。与传统的电气测量不同，它不需要样品制备，从而无需 MOS 电容器结构。这降低了计量成本，并在研发和制造环境中实现快速数据反馈。

电晕-开尔文方法使用空气中的电晕放电在晶圆表面沉积电荷 (DQC)。然后，振动开尔文探针测量产生的表面电压 (V)，从而确定差分电容 (C= D Q C / D V)。通过监测黑暗和光照条件下的表面电压，该系统分离了两个关键组成部分：介电电压 (V D ) 和半导体表面电势 (V SB )，从而能够确定平带电压 (V FB )。

对所得电荷电压数据的分析可得出电气参数，包括陷阱密度 (D it)、平带电压 (V fb)、介电电荷 (Q tot)、介电电容 (CD)、等效氧化物厚度 (EOT)、漏电流和隧道特性。

应用领域

等离子损伤监测

残余电荷和非目视缺陷检查

扩散炉氧化物和界面表征

高介电常数和低介电常数介电电容

移动离子测绘

电荷捕获和滞后

特色市场

裸晶圆和面板制造

CMOS技术

专业

先进封装

FAaST® 数字 SPV 系统