半导体外延与 MOCVD

G10-SiC 是 AIXTRON 面向 SiC 功率电子的 150/200 mm 高通量外延系统，采用可兼容双晶圆尺寸的批量反应器。

G10-GaN 是 AIXTRON 面向 150/200 mm GaN 功率和射频应用的高通量外延系统。

G10-AsP 是 AIXTRON 面向 GaAs/InP 材料大批量生产的全自动 MOCVD 系统。

AIX G5+ C 是 AIXTRON 面向 150/200 mm 衬底高级 GaN 应用的 Planetary reactor 模块。

Closed Coupled Showerhead CCS Systems for R&D 是 AIXTRON 面向研发和小规模生产的灵活 MOCVD 系统。

AIX 2800G4-TM (IC2) 是 AIXTRON 面向 GaAs/InP 基光电子和射频应用大批量制造的反应器。

AIX G5 WW C 是 AIXTRON 面向下一代 SiC 功率电子的高通量批量外延系统，结合批量处理与单片晶圆控制。