AIXTRON Closed Coupled Showerhead CCS 研发型 MOCVD 系统

产品信息

• 化合物半导体沉积系统。
• 其为面向研发和小规模生产的灵活 MOCVD 系统。

关键优势

• 支持从研发到量产的真实放大。
• 适用于多种材料体系的均匀、可重复生长。
• 工艺窗口灵活，便于获得材料质量和均匀性。
• 可集成手套箱，气体流量低，前驱体效率高，维护简便且运行成本较低。

产品特征

• 支持多种 MO 和 hydride 源。
• 数字质量流量控制器和压力控制器。
• AIXACT Advanced Control System，基于 HTML 的图形界面。
• 紧凑占地。

CCS 配置

• 带 3 区加热器的 Closed Coupled Showerhead 反应器。
• 动态工艺间隙调节，用于有效工艺调节。
• 可选 1400°C 表面温度。
• 支持 Laytec EpiTT、EpiCurveTT 等原位监测；可使用 AIXTRON ARGUS 全晶圆温度映射。