产品信息

• 化合物半导体沉积系统。
• 面向下一代 SiC 功率电子的外延系统，用于应对全球性市场趋势。
• 高通量批量外延结合单片晶圆控制，兼顾批量处理效率与晶圆级控制。

优势

• 同级别高吞吐量和较低的每片晶圆拥有成本。
• 批量配置中实现单片晶圆级表现，用于获得优良外延层质量。
• 兼容硅厂自动化，支持 SiC 功率市场爬坡。

产品特征

• 带热晶圆传输的 Planetary reactor。
• 生长腔体内高效气体利用。
• 晶圆级温度控制。
• Cassette-to-cassette 晶圆处理。
• 快速外延处理。
• 8 x 150 mm 配置，带单片晶圆旋转。
• AutoSat 功能用于批次内均匀性。
• SECS-GEM 工厂接口。