AIXTRON G10-SiC 碳化硅功率电子外延系统

产品信息

• 150/200 mm 高通量 SiC 功率电子外延系统。
• 双晶圆尺寸批量反应器，可支持 150 mm 与 200 mm 晶圆，保护面向未来尺寸升级的投资。
• 该系统具有市场领先的单位厂房面积晶圆产出、低单片成本、良好的批次间工艺表现，以及高均匀性、低缺陷 SiC 外延工艺。

优势

• 批量配置中实现单片晶圆级工艺表现。
• 同级别高生产率和较低外延成本。
• 全自动晶圆装载、单片晶圆 Gas Foil Rotation (GFR)、自动顶面晶圆温度控制 (TTC)。
• 热晶圆传输、快速热反应器循环，并降低每片晶圆的耗材、气体和电力消耗。

应用实验室服务

• AIXTRON 列出 150/200 mm SiC 工艺开发系统运行支持。
• 材料表征能力由德国 Fraunhofer Institute 支持。
• 支持 SiC 工艺演示、开发和培训。