AIXTRON G10-GaN 氮化镓功率与射频外延系统

Name: AIXTRON G10-GaN 氮化镓功率与射频外延系统
Brand: AIXTRON
SKU: https://www.aixtron.com/en/products/compound-semiconductors-mocvd/g10-gan
Availability: InStock

G10-GaN

G10-GaN 是 AIXTRON 面向 150/200 mm GaN 功率和射频应用的高通量外延系统。

品牌: AIXTRON产地: 德国价格: 面议服务区域: 全国

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产品信息

150/200 mm 高通量 GaN 外延系统，面向 GaN 功率与射频应用。
其三工艺腔紧凑集群设计可减少 50% 占地，并提高单位厂房面积晶圆产出。
片内均匀性提升、低颗粒水平以及低外延单片成本等特点。

优势

低颗粒密度，约 0.1/cm2。
片内、片间均匀性表现良好。
出色的重复性，设备正常运行时间不低于 90%。
大容量批量 Planetary Reactor 与三工艺腔紧凑集群设计。

解决方案

全自动晶圆处理 (C2C)。
新型晶圆载具设计，单片晶圆闭环顶面温度控制。
通过 5-flow injector 单独控制厚度与组分均匀性。
自动腔体清洁、长寿命耗材、带预测功能的智能系统和先进的腔体匹配能力。

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