产品信息

• RTP-200 是可带或不带高真空配置的快速热真空处理炉。
• 该设备适用于最高 200 mm（8 英寸）单片晶圆。
• 官网列出其带有集成气体入口和出口。

官方特点

• 升温速率最高 50 K/sec，可选 100 K/sec。
• 通过 K 型或 S 型热电偶进行温度控制。
• 无石英腔体，采用铝腔体。
• 石英托盘固定集成在门内。
• 通过 2 x 12 支红外灯加热，可选择顶部和底部加热。