UNITEMP RTP-150 快速热真空处理炉

产品信息

• RTP-150 是前装载式快速热真空处理炉，升温速率最高 75 K/sec。
• 该设备是带前装载抽屉的小占地台式多用途系统。
• 官网说明其适用于多种半导体工艺和新半导体工艺的实施。

官方特点

• 精确控制的升温速率和快速降温速率。
• 适用于最高 150 mm（6 英寸）单片晶圆或 156 mm x 156 mm 基片。
• 工艺腔体由石英玻璃制成，腔体高度为 40 mm。
• 可选将最高温度从 1000°C 扩展到 1200°C。