晶圆图案检测系统

配备三种不同分辨率的镜头 高分辨率、高生产率的晶圆图案检测系统

1. 吞吐量大约是之前型号的两倍

配备了专有的检查头和新开发的高速图像处理引擎，我们的处理能力大约是以前型号的两倍*。通过集成使用线传感器的全表面检查系统，无论芯片尺寸或数量如何，都可以以恒定的速度进行分析，对稳定生产做出了巨大贡献。 *与ZI-3500型号相比

2. 能够检测和分析1μm以下的微观缺陷

新型物镜可识别并分析 1μm 或更小的微小缺陷。 ZI-3600 配备三个不同分辨率的物镜，可在检查过程中无缝处理自动镜头切换。该单一系统可实现从微观缺陷到宏观缺陷的广泛缺陷检测。

3. 在检查实际晶圆图像的同时轻松创建配方。

检查实际晶圆图像时可以轻松设置检查条件，使专业工程师和一般操作员能够创建配方。可以额外安装关键尺寸和重叠测量功能。只需在构建配方时设置条件，即可在检查期间同时执行这些测量。