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ZI-2000
紧凑的设计提供更高的速度和性价比
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晶圆图案检测系统
紧凑的设计提供更高的速度和性价比
1. ZI-2000 可用于多种工艺，从需要灵活性的前端晶圆工艺的过程中检测，到速度至关重要的最终视觉检测。
2. 检查头采用专有的镜头/照明系统和高速图像处理引擎，可实现不受晶圆上芯片尺寸或数量影响的高吞吐量。
3. 由于不需要与参考图像进行比较的检查方法，可以轻松创建检查方案，甚至可以立即检查新晶圆。
4.所有检查结果均可实时确认。该装置的实时 ADC（自动缺陷分类）功能可以在检查结束时仅检查所需的结果。
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