WS-620C/ WS-820C/ WS-820L
高吞吐量批量清洗系统实现灵活的生产线配置
科桥实验提供 SCREEN Semiconductor Solutions WS-620C/ WS-820C/ WS-820L 在全国范围内的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务，价格面议。
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湿站
高吞吐量批量清洗系统实现灵活的生产线配置
1. 两种传输类型
选择用于 150 mm 晶圆的 WS-620C 或用于带载体转移处理的 200 mm 晶圆的 WS-820C，或用于带无载体转移处理的 200 mm 晶圆的 WS-820L。
2、设计灵活
系统可以根据应用自由配置。处理槽配置最多可包含 13 个槽。
3. 高通量
可以安装多个浴槽，最多可以安装六个传送机器人，以确保高吞吐量。
4. 高品质加工
优化的加工槽设计、严格的化学管理和清洁的干燥装置有助于稳定、高质量的加工。
5.丰富的外围设备阵容
提供多种外围设备，包括晶圆传送装置和盒式储料器。
6. 水印的预防
可以安装低压干燥装置以减少水印并确保清洁干燥。 （仅适用于 WS-820L）
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