湿站

高吞吐量批量清洗系统实现灵活的生产线配置

1. 两种传输类型

选择用于 150 mm 晶圆的 WS-620C 或用于带载体转移处理的 200 mm 晶圆的 WS-820C，或用于带无载体转移处理的 200 mm 晶圆的 WS-820L。

2、设计灵活

系统可以根据应用自由配置。处理槽配置最多可包含 13 个槽。

3. 高通量

可以安装多个浴槽，最多可以安装六个传送机器人，以确保高吞吐量。

4. 高品质加工

优化的加工槽设计、严格的化学管理和清洁的干燥装置有助于稳定、高质量的加工。

5.丰富的外围设备阵容

提供多种外围设备，包括晶圆传送装置和盒式储料器。

6. 水印的预防

可以安装低压干燥装置以减少水印并确保清洁干燥。 （仅适用于 WS-820L）