SU-3300

Name: SU-3300
Brand: SCREEN Semiconductor Solutions
SKU: https://www.screen.co.jp/spe/en/products/su-3300
Availability: InStock

单晶圆清洗机结合了多达 24 个腔室的卓越生产力，从而实现了高加工技术

品牌: SCREEN Semiconductor Solutions产地: 日本价格: 面议服务区域: 全国

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单晶圆清洗机

单晶圆清洗机结合了多达 24 个腔室的卓越生产力，从而实现了高处理技术

特征

1.配备业界最大的24个腔室

通过 4 级 x 6 塔的最大腔室容量实现高生产率。

2. 显着消除微图案塌陷

尖端干燥技术可高精度、快速地调节晶圆上的气液界面。室内的温度和湿度始终控制在最佳状态，有效防止高纵横比的日益精细、脆弱的图案的倒塌。

3. APAC2*：将腔室清洁度提升至新标准

SU-3200 中安装的超清洁技术“APAC”已经发展。新技术ASC（高级气流控制）改善了腔室内的处理环境，该技术可以精确控制腔室内的气流，并有助于腔室之间的一致性。

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